Aerotech纳米级直线定位平台

Aerotech纳米级直线定位平台

ANT95-L系列纳米平移台
1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）
3.3纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性 


 
ANT95-XY系列双轴纳米平移台
1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.大行程实现纳米定位
3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）
4.3纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性 


 
ANT95-L-Z系列纳米垂直平移台
1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）
3.5纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性 


 
ANT95-R系列直驱旋转台
1.高分辨率（0.01角秒）
2.高性能
3.**的跳动指标
4.**的定位性能
5.高动态特性
6.多轴结构 


 
ANT130-L系列纳米平移台
1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）
3.3纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
6.8种行程和精度范围可选 

 
ANT130-XY系列双轴纳米平移台
1.结构紧凑的纳米平移台
2.大行程实现纳米定位
3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）
4.3纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性 

 
ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台
1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）
3.5纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性 

 
ANT130-R系列直驱旋转台
1.高分辨率（0.01角秒）
2.高性能
3.**的跳动指标
4.**的定位性能
5.高动态特性
6.多轴结构 

 
ANT180-L系列纳米平移台
1．非接触，无齿槽，无摩擦，直接驱动
2．零背隙，无磁滞现象
3．抗爬行十字交叉滚珠轴承
4．较大360毫米行程
5．高分辨率（1纳米），重复定位精度（100纳米），定位精度（150纳米）
6．完整的多轴电缆管理系统